Yarı İletken Üretimi için PSA Oksijen Tesisi
Saflık: 98%-99.5%
Yarı İletken Üretimi için Oksijen Jeneratörleri-Teknik Göstergeler
Oksijen saflığı:Yarı iletken üretimi, yarı iletken ürünlerin kalitesini ve performansını sağlamak için genellikle %99,999'a veya hatta daha yükseğe ulaşması gereken ultra yüksek saflıkta oksijen gerektirir.
Oksijen akış hızı:Yarı iletken üretiminin üretim ölçeğine ve süreç gereksinimlerine göre, PSA oksijen ekipmanının, üretim sürecindeki sürekli oksijen talebini karşılamak için sabit bir oksijen akış hızı sağlaması gerekir.
Çiy noktası sıcaklığı:Oksijendeki nem içeriğinin son derece düşük olması gerekir ve nemin yarı iletken üretim süreci üzerinde olumsuz bir etki yaratmasını önlemek için çiğlenme noktası sıcaklığının genellikle - 60 derecenin altında olması gerekir.
Parçacık safsızlık içeriği:Yarı iletken yongaların yüzeyinde kusurlara neden olan parçacık safsızlıklarının önlenmesi için, oksijendeki parçacık safsızlıklarının içeriği sıkı bir şekilde kontrol edilmeli ve genellikle 0,1 mikronun altında olması istenmelidir.
PSA Oksijen Tesisli PSA Oksijen Jeneratörü
Oksidasyon, yarı iletken üretiminin birçok proses bağlantısında temel ve kritik bir adımdır. Örneğin, silikon levhaların oksidasyon sürecinde, bir silikon dioksit (SiO₂) tabakası oluşturmak için yüksek saflıkta oksijen gerekir. Bu silikon dioksit katmanı, yalıtım katmanı olarak veya sonraki işlemler için maske olarak kullanılabilir. PSA oksijen ekipmanı tarafından sağlanan yüksek saflıkta oksijen (genellikle %99,999'a kadar veya daha yüksek bir saflığa sahip), oksidasyon reaksiyonunun doğruluğunu ve stabilitesini sağlayabilir, böylece üretilen silikon dioksit katmanı tek tip kaliteye ve hassas kalınlığa sahip olur. yüksek performanslı yarı iletken cihazların (entegre devrelerdeki transistörler gibi) üretimi için çok önemlidir.
NTK93 Serisi PSA Oksijen Santrali Model Seçimi |
||||||
HAYIR. |
Modeller |
Kapasite (Nm3/saat) |
Saflık |
Üretilen 1Nm3 oksijenin güç tüketimi (kw/h) |
12 saatte doldurulan şişe sayısı (adet) |
Operatör gerekli |
| 1 | NTK-5P | 5 | 93%+-3% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | NTK-10P | 10 | 93%+-3% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | NTK-15P | 15 | 93%+-3% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | NTK-20P | 20 | 93%+-3% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | NTK-25P | 25 | 93%+-3% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | NTK-30P | 30 | 93%+-3% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | NTK-40P | 40 | 93%+-3% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | NTK-50P | 50 | 93%+-3% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | NTK-60P | 60 | 93%+-3% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | NTK-80P | 80 | 93%+-3% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | NTK-100P | 100 | 93%+-3% | 1.83 | 200 | 2 |
| Tasarım esası: Yükseklik: 500m'den küçük veya eşit;RH: %80'den az veya eşit;Sıcaklık:0 derece -38 derece;Doldurma basıncı: 150Bar 40L Tip Standart Silindir | ||||||
Popüler Etiketler: yarı iletken üretimi için psa oksijen tesisi, yarı iletken üretimi için Çin psa oksijen tesisi üreticileri, tedarikçiler
