tek elden hizmette
NewTek Gaz, özellikle yarı iletken üretim ortamları için özel olarak tasarlanmış en yeni PSA (basınç salınımı adsorpsiyonu) oksijen üretim sistemi sunar. Bu modüler çözüm, temiz oda işlemleri için akıllı entegrasyon özelliklerine sahip 5-3000 nm³/s arasında değişen akış hızlarına sahip% 99.5 ultra yüksek saflık oksijen sunar.
Çekirdek teknik avantajlar
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >% 99.999 O₂ saflık
± 0. Gerçek zamanlı lazer gazı analizi yoluyla% 5 konsantrasyon stabilitesi
0. 1μm çok aşamalı filtrasyon (HEPA+ULPA) ISO Sınıf 3 uyumluluğunu sağlar
- Geleneksel sistemlerden% 30 daha düşük güç tüketimi
- Isı kurtarma sistemi, fab ortamlarda termal yükü azaltır
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Ölçeklenebilir kızak monteli tasarım% 20 -200% kapasite genişlemesini destekler
Hava Sıkıştırma Ünitesi (Yağsız Kaydırma Teknolojisi)
Saflaştırma Kulesi (Otomatik TSA neminin kaldırılması)
Akıllı Kontrol Kabini (SEC/GEM Protokollü PLC+HMI)
Yarıiletken işlem uygulamaları
✔ Termal oksidasyon
GATE oksit büyümesi için hassas o₂ arz (2-200 Å Kalınlık Kontrolü)
✔ Kuru dağlama
Nano ölçekli desen için plazma-stable gaz kaynağı
✔ CVD oda temizleme
Parçacık kontaminasyonun önlenmesi için ultra kuru oksijen
✔ gofret tavlama
Dopant aktivasyonu için yüksek saflıkta atmosfer kontrolü
Akıllı İzleme Sistemi
Gerçek zamanlı safsızlık izleme (PPB düzeyinde tespit)
AI algoritması ile öngörücü bakım (% 98 doğruluk)
IIOT platformu üzerinden uzaktan teşhis (OPC UA/MTCONNECT)
Yarı F 5-0202 Temiz Oda Gazı Standartları
CE/UL/ETL Elektrik Güvenliği Sertifikası
ISO 14644-1 Sınıf 3 Temiz Oda Uyumluluğu
Veriyoruz
▲ Global Teknik Ağ:7/7 çok dilli destek<4hr response time
▲ Yaşam Boyu Optimizasyon Programı:Yıllık Verimlilik Denetimi ve Moleküler Elek Değiştirme Hizmeti (1- Yıl Garantisi)
▲Özel Çözümler:AMHS/MMC sistemleriyle özel entegrasyon
ve gaz kurtarma sistemi tasarımı
Yarıiletken gaz uzmanlarımızla iletişime geçin
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Popüler Etiketler: Yarıiletken için oksijen jeneratörü, yarı iletken üreticileri için Çin oksijen jeneratörü, tedarikçiler
